CDX系列超高精度非接触式激光位移传感器适合玻璃等透明体镜面体的测量

 

 CDX系列超高精度非接触式激光位移传感器适合玻璃等透明体镜面体的测量


奥泰斯工业自动化于2018年3月上旬,高精度激光位移传感器「FASTUS CDX系列」正反射型・短距离型机型追加上市。

  CDX系列,比业界高2.7倍以上,成为目前世界上最高线性精度※非接触式超高精度测量的激光位移传感器。比起以太网通信功能,在WEB服务器上更能简便地读取传感器的测量值和参数设定。
此次追加的产品为,测量范围15±1mm、分辨率0.25μm的正反射型CDX-L(W)15A和测量范围30±5mm(设定为漫反射模式时)分辨率0.25μm的短距离型CDX-(W)30A。其中宽光斑·短距离型CDX-W30A达到目前业界最高※ 的线性精度(±0.015% F . S .),实现高精度测量。
此系列产品最适合玻璃、硅晶片等透明体·镜面体的测量,在以FPD、半导体、电子部件行业为首的行业领域广泛使用。
OPTEX-FA今后也会持续扩大「FASTUS(ファスタス)」商标的产品,提升工业用传感器的新价值。

  三角测量方式的漫反射型激光位移传感器。2018年1月本社调查。另外,内容中“线性精度”也称“线性度”,是表示与实际距离的误差的位移传感器的规格。例如测量范围为30±5mm的宽光斑·短距离型CDX-W30A,较实际距离的测量误差:最大为±1.5μm。
■产品阵容

  ■应用案例
智能手机的外壳高度测量(正反射模式)    玻璃基板的平整度测量(正反射模式)

   

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